簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "李嘉平".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="(hfac)Cu(COD)"


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    以(hfac)CuI(COD)為先驅物之有機金屬化學氣相沉積銅膜的研究
    • 化學工程系 /97/ 博士
    • 研究生： 陳昭慶   指導教授： 李嘉平
    • 本研究以先驅物(hfac)CuI(COD)在不同的TaNx阻障層上，利用化學氣相沉積法(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)進行沉積銅晶種層(Seed l…
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